Esityhjiökuljetin (kuormalukko) ja siirtoalustan päärunko

Esityhjiökuljetin on ilmakehän ja tyhjön siirtokammio, jota käytetään eristämään reaktiokammio suorasta kosketuksesta ulkoilman kanssa, jotta varmistetaan reaktiokammion puhtaus ja vähennetään reaktion saastumisen todennäköisyyttä. kammio. Kun etupään moduulin on nostettava ja asetettava kiekko esityhjiökuljettimelle, se on täytettävä typellä, onkalon ilmanpaine säädetään ilmakehän tilaan ja sitten esityhjiön vaihteistoventtiili. -etupään moduulin sivussa oleva tyhjiökuljetin avataan kiekon poimimista ja sijoittamista varten; Poimittaessa ja asetettaessa kiekkoja siirtokammiosta (osa siirtoalustaa) esityhjiösiirtorunkoon, on tarpeen käyttää tyhjiöpumppua kaasun pumppaamiseksi ulos esityhjiösiirtorungosta, säädettävä alipaineeseen tilaan ja avaa sitten esityhjiön siirtorungon toisella puolella oleva siirtoventtiili ja suorita sitten kiekkojen poiminta ja paikka.

Siirtojärjestelmässä kuljetettavan kiekon erityiset vaiheet ovat seuraavat: kaikki ovet kiinni → kiekkojen latausportti avataan, kiekkokasetin ovi avataan → ilmakehän manipulaattori nappaa kiekon kasetin kiekkoveneestä → kiekko asetetaan kohdistajalle → kiekon asento on kalibroitu → typpikaasua täytetään LoadLockA:hun → LoadLockA:n luukku avataan → ilmakehän manipulaattori asettaa kiekon LoadLockA:hun → sulkee LoadLockA:n luukun → LoadLockA imuroi → avaa reaktiokammion oven → tyhjä manipulaattori laittaa kiekon reaktiokammioon → reaktio tapahtuu → reaktion päätyttyä reaktiokammio imuroi → siirtokammion ovi avataan → tyhjiökammio siirtää kiekon siirtokammioon → sulkee reaktiokammion oven → avaa LoadLockB:n oven → tyhjiömanipulaattori siirtää kiekon LoadLockB:hen → sulkee LoadLockB:n luukun → LoadLockB täyttyy typellä → avaa LoadLockB:n luukun → ilmakehän manipulaattori siirtää kiekon pois LoadLockB:stä → sulkee LoadLockB:n