Mitä PECVD:n suihkupää tekee?

0020-30797 Rei'itetty levysuihkupää

0021-35869 SHOWERHEAD

 

Mitä suihkupää tekee PECVD-prosessissa?

Kuten yllä olevasta kuvasta näkyy, Showerhead, käännettynä myös sprinkleripääksi, suihkupääksi jne., sopii yleensä tiukasti reaktioalueen yläosaan ja toimii kaasun sisääntulona ruiskuttaen reaktiokaasua tasaisesti kammioon pienten reikien kautta. sen pinnalla. Tietenkään se ei ole vain kaasunjakelutoiminto, vaan jotkut on suunniteltu käytettäväksi osana elektrodia.
Toiminto Suihkupää?

Suihkupään pinta on peitetty tiheillä huokosilla ja reaktiokaasun sisäänvirtauksen jälkeen se jaetaan tasaisesti useisiin osiin ja siirretään tasaisella virtausnopeudella kiekon yläosaan, jotta reaktiokaasu peittää tasaisesti koko alueen. kiekon pintaa tasaisemman pinnoitteen saamiseksi. Kun suihkupää on osa elektrodia, RF-virtalähde tuottaa tasaisen sähkökentän pinnalle, joka pystyy muodostamaan homogeenisen plasman.

Mitä metallia yleensä käytetään suihkupään valmistukseen?

Yleisin on alumiini, jolla on korkea lämmönjohtavuus ja korroosionkestävyys. Kvartsia tai keramiikkaa voidaan käyttää myös suihkupään valmistukseen.